Les deux entreprises Toshiba et e-Beam ont developpe en commun un appareil qui utilise un faisceau d'electrons pour graver les puces sur wafer. Cette alternative a la gravure par lithographie revient moins cher et permet de commencer la gravure plus rapidement. Il n'y a en effet plus besoin de masque couteux (200 a 300 millions de yens piece, soit 1,5 a 2,3 millions d'euros) et qui demande un mois de fabrication. La gravure de puces par faisceau d'electron existe deja mais elle est trop lente et donc limitee aux travaux en laboratoire.
Les deux entreprises ont reussi a multiplier la vitesse de gravure par faisceau d'electron par 10. Ce nouvel equipement sera particulierement utile pour les puces destinees a l'automobile ou aux appareils domestiques car leur design varie beaucoup selon le modele et les quantites a produire sont faibles. Selon Katsuya Okumura, professeur a l'universite de Tokyo, qui a developpe la technologie pour Toshiba, la gravure par faisceau d'electron est interessante pour des volumes de production inferieurs a 100.000 puces.
Les deux entreprises prevoient de vendre l'equipement a partir de 2005 a prix avoisinant un milliard de yen (7,7 millions d'euros).
