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L'ATR a reussi a creer une micro-table en pliant une plaque semi-conductrice ultra-fine

16/12/2002 15h15, par ADIT

L'ATR a concu une plaque semi-conductrice en superposant plusieurs couches minces du compose binaire d'arseniure de gallium -le compose ternaire d'arseniure de gallium et d'indium a egalement ete testee-. Ces composes sont utilises en couche mince comme materiaux semi-conducteur dans la fabrication de composants optoelectronique. La difference de taille des intervalles entre les atomes des deux -ou trois- composes cree des distorsions dans la structure generale de la plaque semi-conductrice.
Lorsqu'une rainure est coupee sur la surface, les forces de distorsions plient la plaque. L'ATR a ainsi plie une plaque de 0,7 micrometres d'epaisseur pour creer une table a quatre pieds ayant une surface carree de 200 micrometres de cote. Cette table pourra servir de support pour des circuits electroniques ou des electrodes et l'ensemble sera utilise comme capteur ou comme contacteur. Les capteurs super miniaturises seront notamment utilises par l'ATR pour des applications en robotique.

Contacts :
- [email protected]
- Compound SemiConductor Device Group de l'ATR (Dep 4) :
- http://www.acr.atr.co.jp/acr/general/dept4/index-e.html
- http://www.acr.atr.co.jp/~vaccaro/anpho.html
- http://www.acr.atr.co.jp/~davis/dept4/csdg-e.html

Source : The Nikkei Weekly, 09/12/2002

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