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Hitachi developpe un microscope haute resolution pour l'industrie des semiconcucteurs

28/10/2003 16h08, par ADIT

Hitachi a mis au point un microscope a balayage, dote d'une resolution de 2nm, et permettant de faire des mesures de circuits electroniques avec une incertitude de seulement 1nm. Les microscopes a balayage sont utilises par les fabricants electroniques pour verifier la concordance entre le circuit et le design initial.

La resolution de ces microscopes peut etre accrue en augmentant la tension et la vitesse des electrons, mais ces particules de haute energie tendent a endommager les circuits.

Hitachi a reussi a contourner ce probleme en rabaissant la tension des electrons juste avant qu'ils ne frappent l'echantillon. Le S-9380 permet ainsi d'observer des circuits avec une resolution de 2nm sans endommager le circuit.

L'angle avec lequel les electrons frappent la surface du circuit peut aussi etre ajuste. La version standard du S-9380 sera mise en vente a partir du mois de decembre, a un pris de 350 millions de yen (environ 2,7 millions d'euro).

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